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微納加工中的圖形化工藝 激光束

點(diǎn)擊量:1808 日期:2020-03-31 編輯:硅時(shí)代

微納米加工的圖形化工藝主要分為圖形轉(zhuǎn)移和直接加工兩種技術(shù),圖形轉(zhuǎn)移技術(shù)包括三個(gè)部分:薄膜沉積,圖形成像,圖形轉(zhuǎn)移。而直接加工的激光束蝕刻技術(shù)具備直寫能力,避免的圖形轉(zhuǎn)移的多步工藝,通過(guò)控制聚焦的高能激光(短波/脈沖)束直接在刻蝕材料制作微細(xì)結(jié)構(gòu),具備微米/亞微米的薄膜蝕刻加工精度,適用于多種材料,實(shí)現(xiàn)三維的微結(jié)構(gòu)的制作。

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